王林林
作品数： 1被引量：0H指数：0
  • 所属机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
  • 所在地区:四川省 绵阳市
  • 研究方向:机械工程

相关作者

谭刚
作品数：32被引量：32H指数：4
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：化学机械抛光 LPCVD CMP 低压化学气相淀积 多晶硅薄膜
吴嘉丽
作品数：38被引量：65H指数：6
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题：惯性开关 微机电系统 LPCVD G值 多晶硅薄膜
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