胡大伟
作品数： 3被引量：13H指数：1
  • 所属机构:北京理工大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

刘晓林
作品数：15被引量：17H指数：2
供职机构：北京理工大学
研究主题：光学系统 数值孔径 面形误差 投影光刻物镜 光学设计
李艳秋
作品数：450被引量：341H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
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