李涛
作品数: 15被引量:77H指数:5
  • 所属机构:东北大学机械工程与自动化学院
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:一般工业技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

陈瑶
作品数:5被引量:19H指数:1
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
研究主题:干式真空泵 干泵 高真空 层压工艺 半导体设备
巴德纯
作品数:424被引量:1,094H指数:15
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 干泵 抽气
刘坤
作品数:274被引量:562H指数:13
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:数值模拟 干泵 氧枪 高真空 炉外精炼
杨乃恒
作品数:99被引量:342H指数:11
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:真空泵 抽气 分子泵 高真空 真空系统
常学森
作品数:18被引量:68H指数:5
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
研究主题:亲水性 干泵 干式真空泵 高真空 磁控溅射