-
曹振
-

-

- 所属机构:北京理工大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 李艳秋

- 作品数:450被引量:341H指数:11
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
- 刘岩

- 作品数:15被引量:8H指数:1
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:投影光刻物镜 数值孔径 投影物镜 光学设计 光刻物镜
- 刘菲

- 作品数:47被引量:6H指数:2
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:极紫外光刻 紫外光刻 投影物镜 光阑 设计方法
- 孙圆圆

- 作品数:2被引量:5H指数:2
- 供职机构:北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室
- 研究主题:光刻物镜 公差分析 极紫外光刻 极紫外 大数值孔径
- 刘晓林

- 作品数:15被引量:17H指数:2
- 供职机构:北京理工大学
- 研究主题:光学系统 数值孔径 面形误差 投影光刻物镜 光学设计