-
魏佳斯
-
-
- 所属机构:上海市计量测试技术研究院
- 所在地区:上海市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:上海市质量技术监督局科技项目
相关作者
- 蔡潇雨
- 作品数：45被引量：67H指数：5
- 供职机构：上海市计量测试技术研究院
- 研究主题：白光干涉 原子力显微镜 测量系统 纳米 MES
- 李源
- 作品数：105被引量：155H指数：8
- 供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院
- 研究主题：纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
- 吴俊杰
- 作品数：35被引量：58H指数：6
- 供职机构：上海市计量测试技术研究院
- 研究主题：白光干涉 电容传感器 纳米测量机 校准 原子力显微镜
- 傅云霞
- 作品数：122被引量：165H指数：6
- 供职机构：上海市计量测试技术研究院
- 研究主题：激光跟踪仪 光栅 测量方法 纳米 校准
- 雷李华
- 作品数：101被引量：101H指数：6
- 供职机构：上海市计量测试技术研究院
- 研究主题：光栅 纳米 校准 计量学 膜厚
