2025年12月9日
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马亚琪
作品数: 2
被引量:0
H指数:0
所属机构:
复旦大学
所在地区:
上海市
相关作者
陆冰睿
作品数:48
被引量:10
H指数:2
供职机构:复旦大学
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陈宜方
作品数:63
被引量:4
H指数:1
供职机构:复旦大学
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张思超
作品数:7
被引量:4
H指数:1
供职机构:复旦大学
研究主题:电子束光刻 深反应离子刻蚀 衬底 波带片 旋涂法
刘建朋
作品数:7
被引量:4
H指数:1
供职机构:复旦大学
研究主题:高宽比 电子束光刻 波带片 自对准 子层
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