-
张巍
-
-
- 所属机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 所在地区:陕西省 西安市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 刘松
- 作品数：19被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
- 单光宝
- 作品数：22被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题：TSV 硅 芯片面积 SOI衬底 硅晶圆
- 孙有民
- 作品数：15被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题：TSV 硅 SOI衬底 硅晶圆 刻蚀
- 袁海
- 作品数：6被引量：16H指数：1
- 供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题：TSV RDL 硅晶圆 光刻分辨率 胶层
- 杜欣荣
- 作品数：4被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
- 研究主题：TSV SOI衬底 刻蚀 晶圆 盲孔
