-
魏凯
-

-

- 所属机构:哈尔滨工业大学
- 所在地区:黑龙江省 哈尔滨市
- 研究方向:自动化与计算机技术
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 陈兴林

- 作品数:339被引量:859H指数:15
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
- 范文超

- 作品数:21被引量:41H指数:2
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:光刻机 伺服机构 垂向 线性电机 物理仿真
- 刘帅

- 作品数:47被引量:10H指数:1
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:辐射源信号 阵列信号处理 阵列信号 DOA估计方法 信号子空间
- 刘杨

- 作品数:264被引量:292H指数:9
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
- 杨旭东

- 作品数:15被引量:16H指数:3
- 供职机构:哈尔滨工业大学
- 研究主题:组合导航 VXWORKS 板卡 厚度 光刻机