吴雁军
作品数: 6被引量:6H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

林成鲁
作品数:249被引量:547H指数:13
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
安正华
作品数:20被引量:20H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
刘卫丽
作品数:178被引量:112H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
张苗
作品数:308被引量:37H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
朱鸣
作品数:10被引量:7H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:浮体效应 SOI器件 固体电子学 自加热效应 SOI