-
王德强
-

-

- 所属机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 谢常青

- 作品数:509被引量:267H指数:8
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
- 叶甜春

- 作品数:856被引量:684H指数:10
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:沟道 X射线光刻 半导体器件 版图 衬底
- 张立辉

- 作品数:9被引量:8H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束直写 单电子晶体管 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
- 刘明

- 作品数:1,395被引量:416H指数:11
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 电路
- 汤跃科

- 作品数:9被引量:9H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
- 研究主题:数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学