严佩英
作品数: 12被引量:40H指数:3
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

姚汉民
作品数:175被引量:243H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
余国彬
作品数:76被引量:74H指数:5
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
罗先刚
作品数:776被引量:354H指数:9
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 亚波长结构
胡松
作品数:474被引量:457H指数:9
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
严伟
作品数:149被引量:131H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统