韩锴
作品数: 46被引量:1H指数:1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

王文武
作品数:418被引量:20H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
王晓磊
作品数:119被引量:6H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 界面层 半导体 阈值电压 介质层
陈大鹏
作品数:677被引量:470H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 焦平面阵列 MEMS 沟道
马雪丽
作品数:68被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 阈值电压 沟道 介质层 半导体结构
陈世杰
作品数:34被引量:4H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:界面层 半导体器件 介质层 阈值电压 金属栅