-
胥兴才
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技攻关计划
相关作者
- 陈大鹏

- 作品数:677被引量:470H指数:11
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 刻蚀 焦平面阵列 MEMS 沟道
- 叶甜春

- 作品数:856被引量:684H指数:10
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:沟道 X射线光刻 半导体器件 版图 衬底
- 李兵

- 作品数:41被引量:41H指数:4
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 T型栅
- 谢常青

- 作品数:509被引量:267H指数:8
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
- 韩敬东

- 作品数:14被引量:21H指数:2
- 供职机构:中国科学院
- 研究主题:X射线光刻 LPCVD 氮化硅 掩模 氮化硅膜