信觉俗
作品数: 3被引量:16H指数:3
  • 所属机构:东北大学
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:化学工程
  • 发文基金:辽宁省自然科学基金

相关作者

单五桥
作品数:1被引量:7H指数:1
供职机构:东北大学
研究主题:磁控溅射 充氧 沉积速率 TIO 半导体薄膜
孙旭
作品数:3被引量:4H指数:1
供职机构:沈阳真空技术研究所
研究主题:压力传感器 高灵敏 扩散硅 磁控溅射 ABS塑料