皋华敏
作品数: 6被引量:7H指数:1
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

刘翔
作品数:19被引量:9H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:液滴 波导 覆盖层 光耦合器 静电驱动
周萍
作品数:14被引量:9H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:液滴 车辆 减速 气密 刹车
李铁
作品数:363被引量:144H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
王跃林
作品数:724被引量:801H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
许磊
作品数:16被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:膜区 加热电阻 对流换热 低功耗 叉指电极