陈思琴
作品数: 12被引量:8H指数:2
  • 所属机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信

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唐圣明
作品数:25被引量:14H指数:2
供职机构:中国科学院
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韩明
作品数:8被引量:3H指数:1
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题:离子束刻蚀 伺服 硅 微机械器件 成像系统
徐梅娣
作品数:6被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:磁阻 刻蚀 磁阻元件 磁性薄膜 磁记录
熊幸果
作品数:8被引量:15H指数:3
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 反应离子刻蚀 电容式加速度传感器 硅传感器 玻璃衬底
王效东
作品数:13被引量:36H指数:4
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件