梅秋丽
作品数： 14被引量：3H指数：1
  • 所属机构:北京理工大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

李艳秋
作品数：450被引量：341H指数：11
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
刘菲
作品数：47被引量：6H指数：2
供职机构：北京理工大学
研究主题：极紫外光刻 紫外光刻 投影物镜 光阑 设计方法
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