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张永春
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王辰伟
作品数:124被引量:169H指数:6
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刘玉岭
作品数:481被引量:763H指数:13
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
魏建文
作品数:63被引量:116H指数:5
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陈绍云
作品数:122被引量:275H指数:10
供职机构:大连理工大学
研究主题:二氧化碳 捕集 CO 甲醇 混合气体