搜索到 篇“ 红外气体传感器 “的相关文章

相关作者

李铁
作品数:363被引量:144H指数:6
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
周宏
作品数:28被引量:6H指数:1
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 中心波长 探测器芯片 红外探测器
王跃林
作品数:724被引量:801H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
刘延祥
作品数:43被引量:23H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:红外气体传感器 红外光源 红外探测器 金字塔结构 中心波长
常建华
作品数:321被引量:424H指数:9
供职机构:南京信息工程大学
研究主题:可饱和吸收体 可饱和吸收 激光器 输出镜 表面等离激元