搜索到 篇“ 感应耦合等离子体 “的相关文章

相关作者

辛煜
作品数：104被引量：173H指数：7
供职机构：苏州大学
研究主题：感应耦合等离子体 等离子体 发射光谱 A-C 氟化非晶碳薄膜
宁兆元
作品数：128被引量：470H指数：14
供职机构：苏州大学
研究主题：等离子体 氟化非晶碳薄膜 ECR 感应耦合等离子体 光学带隙
李雪
作品数：384被引量：355H指数：9
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所
研究主题：INGAAS 铟镓砷 红外探测器 杜瓦 焦平面探测器
龚海梅
作品数：468被引量：632H指数：14
供职机构：中国科学院上海技术物理研究所
研究主题：红外探测器 碲镉汞 INGAAS 铟镓砷 杜瓦
杨银堂
作品数：1,671被引量：1,679H指数：16
供职机构：西安电子科技大学
研究主题：硅 片上网络 电路 CMOS 低功耗