搜索到 篇“ 光刻掩模 “的相关文章

相关作者

李思坤
作品数：179被引量：202H指数：9
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 光刻 投影物镜 极紫外光刻
王向朝
作品数：837被引量：1,400H指数：19
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
罗先刚
作品数：776被引量：354H指数：9
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 亚波长结构
赵泽宇
作品数：305被引量：46H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 掩模版
杜春雷
作品数：613被引量：641H指数：13
供职机构：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
研究主题：石墨烯 微透镜阵列 微透镜列阵 微光学元件 掩模